鈮（鉭）酸鋰缺陷檢測設(shè)備
產(chǎn)品介紹
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設(shè)備(NOVA-2000-LN)，是用于鈮酸鋰、鉭酸鋰等襯底晶圓的缺陷檢測設(shè)備，可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工藝類型，可檢出顆粒物、劃痕、凹坑、凸起、崩邊、裂紋等缺陷，對晶圓的質(zhì)量控制具有重要作用。
鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設(shè)備(NOVA-2000-LN)集成明場、暗場等多種檢測模式，對各類缺陷提供可靠的缺陷信息，結(jié)合缺陷自動(dòng)檢測與分類算法，提取包括缺陷類型、尺寸、坐標(biāo)、統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)等在內(nèi)的各頂缺陷數(shù)據(jù)，生成晶圓缺陷檢測報(bào)告，供用戶進(jìn)行質(zhì)量評估和判定。
| 鈮(鉭)酸鋰缺陷檢測設(shè)備 | |
| 型號(hào) | NOVA-2000-LN/LT |
| 晶圓類型 | 鈮(鉭)酸鋰拋光襯底，黑化、半黑化、全透明等 |
| 晶圓尺寸 | 4寸、6寸、8寸 |
|
檢測方式 |
明場、暗場 |
| 產(chǎn)率 | ≥20WPH(@6英寸晶圓，分辨率1μm) |
| ≥12WPH(@8英寸晶圓，分辨率1μm) | |
| 自動(dòng)化 | 2 LoadPort |
01
【高檢測效率】采用時(shí)間延遲積分技術(shù)和高功率照明，相比傳統(tǒng)探測器能夠更高效率的獲取圖像信息，得到高檢測吞吐效率。
02
【高自動(dòng)化程度】采用全自動(dòng)傳片與檢測方式，靈活的配方設(shè)置，實(shí)現(xiàn)檢測過程一鍵式操作。
03
【裝夾方式定制化】可根據(jù)需求配置晶圓夾持方式，應(yīng)對晶圓背面有效區(qū)域內(nèi)不能接觸的需求。
04
【背面噪聲抑制】持殊設(shè)計(jì)的光學(xué)成像系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)，抑制背景噪聲，保證透明晶圓缺陷信號(hào)的準(zhǔn)確性。
05
【實(shí)時(shí)自動(dòng)對焦】實(shí)時(shí)自動(dòng)對焦，對不同厚度品圓和翹曲品圓實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對焦和全程跟焦。
06
【智能算法】傳統(tǒng)算法與AI算法相結(jié)合，融合多通道檢測信息，精確定位缺陷和提取缺陷，并給出缺陷的各項(xiàng)信息，包括缺陷類型、尺寸、坐標(biāo)等。
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