玻璃晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備
產(chǎn)品介紹
玻璃晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備(NOVA-2000-G)，是用于透明或半透明玻璃晶圓襯底的缺陷檢測(cè)設(shè)備，可檢出顆粒物、劃痕、凹坑、凸起、崩邊、裂紋等缺陷，對(duì)透明晶圓的質(zhì)量控制具有重要作用。
玻璃晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備集成明場(chǎng)、暗場(chǎng)等多種檢測(cè)模式，對(duì)各類(lèi)缺陷提供可靠的缺陷信息，結(jié)合缺陷自動(dòng)檢測(cè)與分類(lèi)算法，提取包括缺陷類(lèi)型、尺寸、坐標(biāo)、統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)等在內(nèi)的各項(xiàng)缺陷數(shù)據(jù)，生成晶圓缺陷檢測(cè)報(bào)告供用戶(hù)進(jìn)行質(zhì)量評(píng)估和判定。
| 玻璃晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備 | |
| 型號(hào) | NOVA-2000-G |
| 晶圓類(lèi)型 | 玻璃晶圓襯底、圖形晶圓 |
| 晶圓尺寸 | 4寸、6寸、8寸、12寸(可兼容相鄰尺寸) |
| 檢測(cè)方式 | 明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉 |
| 分辨率 | 10μm -0.5μm |
| 鏡頭 | 1X,2X 5X,10X,20X,50X |
| 檢測(cè)缺陷類(lèi)型 | 劃痕，麻點(diǎn)，顆粒物，污染，崩邊等 |
| 產(chǎn)率 | ≥12WPH(@8英寸晶圓，分辨率1μm) |
| ≥7WPH(@12英寸晶圓，分辨率1μm) | |
| 自動(dòng)化 | 2 LoadPort |
01
【裝夾方式定制化】可根據(jù)需求配置晶圓夾持方式，應(yīng)對(duì)晶圓背面有效區(qū)域內(nèi)不能接觸的需求。
02
【高自動(dòng)化程度】采用全自動(dòng)傳片與檢測(cè)方式，靈活的配方設(shè)置，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)過(guò)程一鍵式操作。
03
【背面噪聲抑制】 特殊設(shè)計(jì)的光學(xué)成像系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)，抑制背景噪聲，保證透明玻璃晶圓缺陷信號(hào)的準(zhǔn)確性。
04
【高檢測(cè)效率】采用時(shí)間延遲積分技術(shù)和高功率照明，相比傳統(tǒng)探測(cè)器能夠更高效率的獲取圖像信息，得到高檢測(cè)吞吐效率。
05
【智能算法】傳統(tǒng)算法與AI算法相結(jié)合，融合多通道檢測(cè)信息，精確定位缺陷和提取缺陷，并給出缺陷的名項(xiàng)信息，包括缺陷類(lèi)型、尺寸、坐標(biāo)等。
06
【實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦】實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦，對(duì)不同厚度晶圓和翹曲晶圓實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦和全程跟焦。
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